ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
ГОСТР
8.763-
2011
НАЦИОНАЛЬНЫЙ
СТАНДАРТ
РОССИЙСКОЙ
ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 1(Г9 ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм
Издание официальное
Москва
Стенда ртинформ 2013
Предисловие
Цели и принципы стандартизации е Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения »
Сведения о стандарте
1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» (ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева») Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства ло техническому регулированию и метрологии
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. № 1094-ст
4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется е ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и попраеок — в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет о публиковано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
© Стандартинформ. 2013
Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
и
Содержание
Приложение А (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины
в диапазоне от 1 • 10′9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 1.
Источники излучений и средства измерений длин волн……………….вкл.
Приложение Б (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10″9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0.2 до 50 мкм. Часть 2.
Меры длины штриховые и измерители перемещений………………..вкл.
Приложение В (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 ■ 10′9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 3.
Меры длины концевые плоскопараллельные…………………….вкл.
Приложение Г (обязательное) Государстеенная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10~9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0.2 до 50 мкм. Часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона 7
in
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 10 * ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН 8 ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм
Stale system for ensuring the uniformity of measurements.
State verification schedule for measuring instruments of length in the range from 1 — l0′9to 50 mend
wavelength In the range from 0.2 to 50pm
Дате введения — 2013—01—01
Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10‘9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0.2 до 50 мкм (далее — государственная поверочная схема) и устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного первичного эталона единицы длины — метра (далее — государственный первичный эталон) рабочим средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов поверки.
Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:
часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн [рисунок А. 1 (приложение А)]:
часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений [рисунок Б. 1 (приложение Б)]:
часть 3. Мерыдлиныконцевыеплоскопараллельнь»е[рисунокВ.1(приложениеВ)]:
часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона [рисунокГ.1 (приложение Г)).
1 Государственный первичный эталон
Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят следующие средства измерений:
• источник эталонного излучения —> He-Ne/lj лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде — 127;
• установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;
• универсальный интерференционный метровый компаратор;
• лазерный интерференционный тридцатиметровый компаратор;
• лазерный интерференционный компаратор для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне:
• гетеродинный интерферометр.
Номинальное значение длины волны, при котором воспроизводится единица, составляет 0,633 мкм.
Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы со среднеквадратическим отклонением результата измерений S0. не превышающим 5.6 • 10й2 при 100 независимых измерениях.
Неисключенная систематическая погрешность 0О не превышает 2.2 • 10й2.
Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным и рабочим эталонам методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер сравнения.
Иэдвнив официальное
2 Вторичные эталоны
2.1 вторичные эталоны 1-й части
2.1.1 В качестве вторичных эталонов ислользуют частотно-стабилизированные лазеры в диапазоне длин волн от 0,4 до 11 мкм.
2.1.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений вторичных (рабочих) эталонов с государственным первичным эталоном при 100 независимых измерениях составляют от1 10-п до1 10’*.
2.1.3 Вторичные (рабочие) эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го и 2-го разрядов методом сличения с помощью компаратора и методом прямых измерений, а также рабочим средствам измерений — частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.
2.2 Вторичные эталоны 2 части
2.2.1 В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0.001 до 1000 мм.
2.2.2 Среднеквадратичесхие отклонения суммарной погрешности S, результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,02 * 0.04L) мкм. где L — длина, м.
2.2.3 Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины, а также рабочих средств измерений — измерителей линейных перемещений методом прямых измерений.
2.2.4 В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют штриховые меры длины и установки для поверки штриховых мер длины вдиапазонеотО.1 до 1000 мм.
2.2.5 Доверительные границы абсолютных погрешностей 8 при доверительной вероятности 0.99 составляют от±(0,03 * 0.1L)ao±(0.05 + 0.11_) мкм. где /. — длина в метрах.
2.2.6 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора.
2.3 Вторичные эталоны 3-й части
2.3.1 В качестве эталонов-копий ислользуют интерференционные установки для поверки плоско-параллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм.
2.3.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности S, результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,01 ♦ 0.04L) мкм. где L — длина, м.
2.3.3 Эталоны-копии применяют для поверки вторичных эталонов — интерференционных установок для измерений внутренних размеров от 0.5 до 200 мм методом сличения с помощью мер сравнения, рабочих эталонов 1-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых геодезических жезлов методом прямых измерений, а также установок для поверки средств измерений внутренних размеров методом сличения с помощью мер сравнения.
2.3.4 В качестве вторичных эталонов используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм и интерференционные установки для измерений внутренних размеров от 0.5 до 200 мм.
2.3.5 Доверительные границы абсолютных погрешностей 8при доверительной вероятности 0.99 составляют от 1 (0,02 * 0,1L)mkmao±(0.05 + 0,1L)mkm. где L — длина, м.
2.3.6 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1 -го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом прямых измерений и рабочих средств измерений — плосколараллельных концевых мер длины методом прямых измерений.
2.4 вторичные эталоны 4-й части
2.4.1 В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10-* до 10-2 м.
2.4.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей £ при доверительной вероятности 0.99 составляют от ± 0.5 до ± 3,0 нм.
2.4.3 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1 -го разряда — микроскопов с лазерным интерферометром и лазерных измерителей перемещений в диапазоне от 10’* до 10~2 м методом непосредственного сличения.
3 Рабочие эталоны
3.1 Рабочие эталоны 1-й части
3.1.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.1.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют спектральные лампы в диапаэонеот 0.4 доО,7 мкм, частотно-стабилизированные лазеры и измерители длин волн лазеров в диапазоне от 0.4 до 11 мкм.
3.1.1.2 Доверительные границы относительных погрешностей ^ при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 2 — 10~10до 1 10-®.
3.1.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда используют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — спектральных ламп и стандартных образцов спектра поглощения и пропускания, а также источников излучения, входящих в состав измерителей линейных перемещений (часть 2), методом сличения с помощью компаратора, лазерных спектрометров методом непосредственного сличения измерителей длин волк лазеров непрерывного излучения методом прямых измерений и рабочих средств измерений — частотно-стабилизированных лазеров непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.
3.1.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.1.2.1 В качестве рабочих эталонов 2*го разряда используют спектральные лампы и стандартные образцы спектра поглощения и пропускания в диапазоне от 0.2 до 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0.4 до 11 мкм. измерители длин волн лазеров импульсного излучения в диапазоне от 0.4 до 1.2 мкм.
3.1.2.2 Доверительные границы относительных погрешностей ^ при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 1 10~8до1 • 10-.
3.1.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений, методом сличения с помощью компаратора и методом непосредственного сличения.
3.2 Рабочие эталоны 2-й части
3.2.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.2.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют штриховые меры длины, дифракционные голографические меры длины в диапазоне от 0.001 до 1000 мм. установки для поверки измерительных лент в диапазоне от 0,001 до 30 м и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.
3.2.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 6 при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ± (0.02 + 0.2L) мкм до ± (1 + 1Z.) мкм.
3.2.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом прямых измерений и рабочих средств измерений — измерителей линейных перемещений методом прямых измерений и штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.
3.2.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.2.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-горазряда используют штриховые меры длины, голографические измерительные системы линейных перемещений в диапазоне от 0.001 до 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне от0,001 до 30 м.
3.2.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей S при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от± (0.2 ♦ 0,5L)mkmao± (2 ♦ 2L) мкм.
3.2.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом непосредственного сличения, рабочих эталонов 4*го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных и внутренних размеров методом прямых измерений, измерительных рулеток методом непосредственного сличения.
3.2.3 Рабочие эталоны 3-го разряда
3.2.3.1 В качестве рабочих эталонов 3-го разряда используют штриховые меры длины, растровые измерительные преобразователи в диапазоне от 0.1 до 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне от 0,001 до 50 м.
3.2.3.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей & при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от ± (1 + 5L) мкм до ±{10 + 10L)mkm.
3.2.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных и внутренних размеров методом прямых измерений, измерительных рулеток и землемерных лент методом непосредственного сличения, штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.
3.2.4 Рабочие эталоны 4-го разряда
3.2.4.1 6 качестве рабочих эталонов4-го разряда используют штриховые меры длины в диапазоне от 0.1 до1000 мм.
3.2.4.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 3 при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 4-го разряде составляют ± (20 + 30L) мкм.
3.2.4.3 Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — складных мер. нивелирных реек, измерительных линеек, лесных вилок методом непосредственного сличения.
3.3 Рабочие эталоны 3-й части
3.3.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.3.1.1 в качестве рабочих эталонов 1*го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне отО,1 до 1000 мм. приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0.5 до 500 мм. меры внутренних диаметров — измерительные кольца в диапазоне от 0.5 до 200 мм и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.
3.3.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 3 при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ±{0.02 + 0.2L) мкм до ± (0.05 + 0,5L)mxm.
3.3.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — установок для поверки измерительных головок, установок для поверки измерительных преобразователей. приборов для поверки средств измерений внутренних размеров, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом прямых измерений, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора, приборов для измерений наружных размеров, контактных интерферометров методом прямых измерений.
3.3.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.3.2.1 8 качестве рабочих эталонов 2*го разряда используют установки для поверки измерительных головоквдиапазонеот0.1 до 25 мм. установки для поверки измерительных преобразователей в диапазоне от 0.005 до 0.2 мм. плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0.1 до 1000 мм. приборы для поверки средствизмерений внутренних размерове диапазонеот0.5 до 500 мм и меры внутренних диаметров — измерительные кольца в диапазоне от 1 до 500 мм.
3.3.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 3 при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ± 0.04 до ± 2 мкм.
3.3.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец сличением при помощи компаратора, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров методом прямых измерений и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных размеров, преобразователей и приборов автоматизированного контроля методом прямых измерений.
3.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда
3.3.3.1 8 качестве рабочих эталонов 3-го разряда используют плоскопараллелькые концевые меры длины в диапазонвот0.1 до 1000 мм. меры внутреккихдиаметров — измерительные кольцае диапазоне от 0.5 до 500 мм и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0.5 до 500 мм.
3.3.3.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей S при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от±(0.1 + И.)до± (0,2 + 2L)mkm.
3.3.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом сличения с помощью компаратора, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров методом прямых измерений и рабочих средств измерений —■ приборов для измерений наружных размеров. установочных колец методом прямых измерений, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора.
3.3.4 Рабочие эталоны 4-го разряда
3.3.4.1 8 качестве рабочих эталонов 4-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0.1 до 1000 мм. приборы для поверки индикаторов и индикаторных нутроме-рое е диапазоне от 0 до 100 мм. меры внутренних диаметров — измерительные кольца и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0.5 до 500 мм.
3.3.4.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 6 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 4-го разряда составляют от ± 0.2 мкм до± (0,5 ♦ 5L) мкм.
3.3.4.3 Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мер длины, установочных концевых мер, проволочек, роликов, принадлежностей к концевым мерам (боковиков) методом сличения с помощью компаратора, приборов для измерений наружных размеров, штангенинструмвнта. приборов для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеров методом прямых измерений, установочных колец, ллоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора.
3.4 Рабочие эталоны 4-й части
3.4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.4.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют рельефные меры в диапазоне от 10-* до 10-г м. микроскопы с лазерным интерферометром и лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10-* до 10-2 м.
3.4.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 6 при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ± 1 до± 10 км.
3.4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — рельефных мер. электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.
3.4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют рельефные меры, электронные растровые измерительные микроскопы и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10~9до 10~2 м.
3.4.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 6 при доверительной вероятности 0.99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ± Здо± 50 нм.
3.4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — рельефных мер. электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.
4 Рабочие средства измерений
4.1 Рабочие средства измерений 1 -й части
4.1.1 В качестве рабочих средств измерений используют спектрометры и спектрофотометры в диапазоне от 0.2 до 50 мкм. частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частотно-стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения — меры длин волн в диапазоне от 0.4 до 11 мкм. измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0.4 до 11 мкм. измерители длин волн лазеров импульсного излучения и лазеры импульсного излучения в диапазоне от 0.4 до 1.2 мкм.
4.1.2 Доверительные границы относительных погрешностей ^ при доверительной вероятности 0.99частотно-стабилизированных лазеров повышенной точности составляют от 1 Ю’,0доЗ 10*8.
4.1.3 Пределы допускаемых относительных погрешностей ^ рабочих средств измерений состав-ляютот±3-10-*до± 1 10-2.
4.2 Рабочие средства измерений 2-й части
4.2.1 В качестве рабочих средств измерений используют измерители линейных перемещений в диапазоне от 0.01 до 30000 мм. штриховые меры длины в диапазоне от 0.1 до 2000 мм. измерительные преобразователи линейных перемещений вдиапаэонеотО до 32000 мм, приборы для измерений наружных и внутренних размеров в диапазоне от 0 до 1000 мм. складные меры и измерительные линейки в диа-пазонеотОдо 1000 мм. нивелирные рейки в диапазоне отО до4000 мм. лесные вилки в диапазоне от 1 до 750 мм. измерительные рулетки длиной до 100 м. землемерные ленты длиной до 50 м. мерные проволоки длиной до 24 м.
4.2.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А рабочих средств измерений составляют от ± 0,05 мкм до ± 14 мм.
4.3 Рабочие средства измерений 3-й части
4.3.1 В качестве рабочих средств измерений используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0.1 до 1000 мм. контактные интерферометры с ценой деления от 0,02 до 0,2 мкм.
приборы для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеры, штакгенинструмент в диапазоне отО до2500 мм; установочные кольца в диапазонеот 1 до 500 мм. преобразователи и приборы автомати-эированного контроля, установочные концевые меры, проволочки и ролики для измерений среднего диаметра резьбы, принадлежности к концевым мерам длины (боковики).
4.3.2 Пределы допускаемыхабсолютныхпогрешностейд рабочих средств измерений составляют от ± 0.02 мкм до ± 1 мм.
4.4 Рабочие средства измерений 4-й части
4.4.1 В качестве рабочих средств измерений используют рельефные меры в диапазоне от 10′9 до 10~2 м. электронные растровые измерительные микроскопы в диапазоне от 10*9 до 10-4 м и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10-9 до 10** м.
4.4.2 Предел ы допускаемых абсолютных погрешностей А рабочих средств измерений составляют от± 10до± 1000 нм.
ПрилсмтшвГ
{обяза-пагъноб)
ронна* тааддгш фв№лвки«врвний дгшиыа дмаптанвсг I’lO^wBOwi и дпжвот в дадтааомвеггОЛдобОыа». Чклъ4.Итмжтвгмперамеи|ткй, май^рапьв(|»*«К1«фосюпывобгиипинвН)»шшэош
РисунокМ
УДК 531.71:681.787:621.373.826:006.354 ОКС 17.020 Т84.1 ОКСТУ0008
17.040.01
Ключевые слова: поверочная схема, эталон, государственный первичный эталон, средство измерений, лазер, штриховая мера длины, плоскопараллельная концевая мера длины, электронный растровый из» мерительный микроскоп, сканирующий эондовый атомно-силовой микроскоп, рельефная мера
Редактор М в. Глушкова Технический редактор В.М. Прусакова Корректор UM. Паршина Компьютерная оерстка И. А. Напейкомой
Сдано о набор 04.03.2013. Подписано о печать 02.04.2013. Формат 60 » 84
Усп. печ л. 1.40 ♦ вся. 0.76. Уч-над. п. 1.06 » ахл. 1.12. Тираж 133 эха
Гарнитура Ариал. Зад. 343.
ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ*. 123395 Москва. Гранатный пер.. 4. wvrwgoslmto.nj info^gostmlo ru
Набрано во на ПЭВМ.
Отпечатано а филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ* — тип. «Московский печатник». 105062 Москва. Лялин пар.. 6.
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕРВИЧНЫЙ ЭТАЛОН ЕДИНИЦЫ ДЛИНЫ
Сличеже с помощью мер Сравнений от 100 Д01000 Мм
>—с
Сличение с помощью кСмПврвТРрв
ЭТАЛОН ы-копии”
№терферешионные установки доя поверки плосколараллепьных концевых мер дли1м от 0.1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм $г = <0.01 -» 0.041) мкм
С
Сличение с помощью мер сравнения от Ю до 1000 мм
БТ6Ь^ны£’$ТШПьГ
Интерференционно установи для поверим ппоекопараппепыькх концевых мер длит ОТ 0.1 £0100 ММ и ОТ 100 £01000 MU б» <0.02*0. И.) мкм
<
Прямые измероиия §’•0.01 мкм
С
Прямые измерения §’=0.01 мкм
)
ВТОРИЧНЫЕ ЭТАЛОНЫ Интерференционно устенов<и дпя измерений внутренних размеров от 0.0 до 200 мм $ = (0.06 * 0.U) мои
{Прямые измерения [
§’■0.01 мкм J ^
Сличение с помощью мер сравнения §*• 0.01 «мм
)f~ Прямие измерения Л V 6’» 0.01 мкм J
|
Меры доимы концевые плосхопаралпельные от 0.1 до 1000 мм § = <0.02 + 0.20 мкм |
Меры внутренних дивметрое -измерительные кольца от 0.6 до 200 м б • (0.05 + 0,51) мкм |
Приборы дпя поверки средств измерений внутрежих размеров от 0.5ДО 500 мы § = (0.06 + 0.51.) ькм |
ъяяшятяг Т= (0.02 + ОД.) мкм |
|||
|
—- -i |
1 |
См приложение Б
<
Прямые иэмережя §’=0.02 мкм
)■
(Спичем не с помощью компаратора §’ • 0,02 мкм
>———<
Прямые измерения §’=0.03 мкм
>/’ прямые измерения ‘Ч
^ д,.006мкм J-
Установки доя поверки измерительных головок от 0.1 до 25 мы 6 = 0.04…2 мкм
Установки для поверки измерительных преобразователей от 0.006 до 0.2 мм §■0,06…2 мкм
|
Меры длины концевые плоскопараппепьныеот0.1 до 1000 мм § ■ <0,05 • 0.51.) мкм |
Приборы для поверки средств измерений внутренних размеров от 0.5 до 500 мм о* (0.1 ♦ 11) мкм |
Меры вн утре тих диаметров -измеритегъшю кольца от 0,5 до 600 м б »(0.1 • 11) мкм |
|||
|
*- 1 1 |
<
Сличение с помощью компаратора §’= 0.05 мкм
Сличение с помощыо компаратора б’ = 0.06 мкм
>( Прямые иэм«реиюГ\ у
~У §*» 0.05 мкм J V
>f ГЬямыо измерения^ §‘»0.06мкн J
Меры длины концевые плоосопораллепьные от 0.1 до 1000 мм 6 • (0.1 + 11) мкм
Меры внутренних диаметров -измерительные кольца от O.SaoSOOm 6 * (02121.) мкм
приборы для поверки средств измерений енутреижх размеров от 0,5 до 500 мм 6 * (0.2 ♦ 20 мкм
прямые измерения ^ §’=0.1 мкм
•V
А
Сличеже с помощью компаратора §’* 0.15 мкм _
111
& se
Прямые измеовжя §’=0.1 мкм
3
>1=
Меры дпитм концевые плосхопараллальные от 0.1 до 1000 мм 5 «(02 + 2L) мкм
Приборы для поверим
нутромеров от 0 до 1.. НГ?о2. .1Л мкм
Сличение с помощью компаратора §’■ 0.2 мкм
I
X
гьяыые измерения §’=0,1 мкм
прямые измерения §’=0.1 мкм
Моры внутрежих диаметров -измерительные кольца от 0.5 до 500 м б*{0.5 + &) шм
Приборы доя поверки средств
…….знийвн —*…………..
от 0.5
измерений внутрежих резмерое от 0.5 до 500 мм § = (0.5 ■♦ 5 L) ши
<
Прямые измерения §’=0,06 ь*м
(
Прямые кзмережя §’=0,05 мим
X
Прямые иэмережя §’*0,05 мим
>
Сличение с помощью компаратора §’ ■ 0.3 ним
Прямые измерения §’=ф,5м=м
Прямые измерения ^ §‘ = Q,5 мкм
3
Прпмыо измерения §’*0.2 м«м
>(
Сличеже с помощью компаратора §’■ 0.3 мои
)—————
Меры доимы
концевые
ппооазлэраллельмые от 0.1 до 1000 мы классы точности 00.01
Контактные интерферометры с ценой деления от 0,02 доО.2 мим Д»0.0в…0,1 мкм
|
Преобразователи. приборы |
Меры длины |
||
|
автоматизм ро- |
ппоскопараллольиые |
||
|
от 0.1 до 1000 мы |
|||
|
А»0.2…100мкм |
клаос точности 0 |
Меры дпжы гошееые
ллоскопарапгапыме от 0.1 до 1000 мм класс точности 1
Меры длины KQHUC6W0
плоскопаролпепьны*
от 0.1 до 1000 мм классы точности 4.5
Приборы для изморе жй наружных размеров от 0 до 2000 мы § = (0,6 * в!) мкм
Приборы *
д ля измерений наружных и внутренних размеров, нутромеров от 0 до 20о0 мм Д = 1 .36 мкм
п_
Установочные
кольца
от 0,6 до 500 мм Д = (0.3 + 3’.) мкм
Установочные
кольца
от 0.5до500мм Д = (1.5+ 151) мкм
|
Приборы |
Приборы |
Приборы |
Приборы |
|||
|
для кзмервжй |
для иэмврежй |
дпя измерений |
дпя измерений |
|||
|
наружных |
наружных |
наружных |
наружных |
|||
|
размеров ото ДО 0.05 ММ |
рвзмвоов отфдо 100 мкм |
размеров рт 0 до WO мм |
резмерое от 100 до 1000 мм |
|||
|
А = 0.1…0,2 мкм |
Д = 0.3. Ю мкм |
б ■ <0.3 * 31) мои |
б * (0.3 + 91) мкм |
Мары длины концевые
плосхопаралляльиыв от 0.1 до 1000 мм клаос точности 2
Меры длжы концевые
плосколараппвльныв от 0.1 до 1000 мм класс точности 3
Установочные концевые меры Д» 1…7 мкм ПМЫПМКй и ролит Д ■ 0.5…5 мкм Принадлежности к кошевым мерам (боковимч)
Д» 1 мкм
Приборы доя измерений наружных
размеров от 0 до 2000 ум §*(1.5 + 151) мкм
~1
Приборы для измерении наружных размеров. ЩГвнТвиИнСГйуММТ от 0 до 2500 мм Д» 20 .300 мим
Гриборы для измерений внутренних
размеров, нутромеры от 6 до 500 мм А ■ <15 * 1S1) мкм
Устансоожые
кольца
ОТ 0.5 ДО 500 мы Д = (0.6 + 61) мкм
Приборы доя измерений внутреннем
от 0 до S00 мм Д ■ (0.3 + 31) мкм
